Kurzfassung

Die Produktentwicklung von MEMS unterscheidet sich wesentlich von der Entwicklung rein elektronischer Systeme. Neben der Integration von Systemkomponenten aus unterschiedlichen Ingenieurdisziplinen, stellt insbesondere die Auswahl einer geeigneten Fertigungstechnologie eine erhebliche Herausforderung dar. Die große Vielfalt an Materialien und Fertigungstechniken und die damit verbundenen technologischen Randbedingungen sind maßgeblich für Dauer und Kosten der Produktentwicklung verantwortlich. Immer kürzere Produktzyklen und die steigende Komplexität der technologischen Randbedingungen erfordern eine effizientere Entwurfsmethodik, die auch Fertigungstechnologie mit einbezieht. In diesem Artikel wird eine integrierte Entwurfsumgebung für den Entwurf anwendungsspezifischer Fertigungsprozesse vorgestellt, die Technologiemanagement und Entwurfswerkzeuge kombiniert.

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