Das Process Development Execution System PDES unterstützt die komplexe, halbleiterbasierte Prozessentwicklung und -verifikation von der ersten Konzeptphase bis zum Transfer des Herstellungsprozesses in die Fertigung. Sie kann an die Methodiken und die Umgebung des Kunden angepasst werden. Einsatz findet die Software vor allem in den Branchen Halbleiter, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), NEMS (Nano Electro Mechanical Systems), Bio-Medical und Solar. Die Software-Suite ermöglicht es laut Hersteller, alle Entwicklungsdaten strukturiert zu erfassen, bei weiteren Entwicklungen zu nutzen und auch selektiv zu transferieren.

Process Relations, Halle 6, Stand F16

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